近日，梅塞尔特种气体（眉山）有限公司电子特气扩建项目正式进入竣工环境保护验收公示阶段。该项目总投资约5000万元，旨在进一步提升高端电子特气的产能，完善企业在西南地区的产业布局。
据悉，此次扩建项目位于四川眉山高新技术产业园区，属于厂区内原址扩建，不新增建设用地。项目主要建设内容涵盖了多套核心生产与纯化装置，包括一套年产3000吨的氧化亚氮（N₂O）生产及纯化装置，以及氮气、氩气纯化装置各一套（产能均为300吨/年）。此外，项目还同步配置了氧氦、氢氮混合气的混配能力，并将磷烷混合气产能大幅扩充至47吨/年，同时配套建设甲类仓储及相关公用工程。
根据相关公示信息，该项目的验收监测报告及验收意见已于11月6日起向社会公开，公示期为期30天，至12月4日结束，期间接受公众的书面异议反馈。需要注意的是，目前该项目仅处于竣工环保验收公示阶段，尚未取得最终的验收批复，距离正式投产仍需等待相关程序的完成。
在半导体与显示面板制造领域，电子特气被誉为“血液”。其中，氧化亚氮是制程中PECVD沉积氧化膜不可或缺的关键材料。随着国内晶圆厂和面板产线的持续扩产，对高纯电子特气的本地化需求日益迫切。梅塞尔眉山项目的推进，不仅将有效补充企业在西南区域的电子特气供应能力，缩短服务半径，更将进一步增强区域半导体核心材料的供应链韧性，为西南乃至全国集成电路产业的高质量发展提供坚实的气体保障。
