2026 年 3 月 10 日，江苏鑫华半导体年产 200 吨高纯硅基类电子特气项目环评公示正式发布，标志着该半导体关键材料改扩建项目进入审批关键阶段。项目聚焦高端硅基特气国产化，总投资 1.52 亿元，投产后将有效填补国内市场缺口。
据公示信息，项目选址徐州经济技术开发区现有厂区内，利用 9.405 亩空地新建浓缩提纯、精馏纯化产线，新增精馏塔等设备 44 台（套），不新增用地。核心产品涵盖硅烷、二氯硅烷等高纯硅基特气，纯度达 6N-9N 级别，金属杂质控制在 ppb-ppt 级，将满足半导体、光伏、显示面板等领域先进制程需求。
当前国内电子特气整体国产化率不足 40%，高端产品进口依赖度超 70%，市场被国际巨头主导。该项目依托鑫华半导体现有硅材料产业基础，实现产业链协同，产品性价比突出，较进口同类产品价格低 15%-30%。项目环保投资达 1147 万元，将配套先进废气废水处理系统，确保达标排放。
作为国家 “十四五” 规划重点支持的国产化项目，其建成后年产值预计达 2 亿元，将进一步完善半导体材料供应链，助力长三角电子特气产业集群建设，加速推动我国先进制程电子特气自主可控进程。目前项目正推进环评审批，预计年内启动建设。
