中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司年产 200 吨高纯六氟丁二烯装置技改项目于 2025 年 9 月 9 日正式公示pericsg.com。该项目是中船特气在电子特种气体领域的重要战略布局，旨在进一步提升高端蚀刻气体的国产化能力，满足半导体制造行业对先进材料的迫切需求。
一、项目核心内容与技术突破
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建设背景与目标
项目位于邯郸市肥乡区京津新材料产业园现有厂区内，通过对现有六氟丁二烯生产线进行技术改造，实现年产 200 吨高纯六氟丁二烯的产能目标pericsg.com。六氟丁二烯（C4F6）是一种关键的电子级蚀刻气体，具有高选择性、高蚀刻速率和低全球变暖潜能值（GWP）等优势，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、显示面板等领域的先进制程。 -
技术路线与工艺创新
中船特气在六氟丁二烯领域已积累多年技术经验，其自主研发的超重力精馏纯化技术通过专利审查。该技术利用离心力替代重力，显著缩短气体在塔内的停留时间，有效避免自聚产物生成，大幅提升产品纯度至 99.999% 以上，达到国际先进水平。此外，公司通过优化合成工艺和杂质控制技术，实现了原料六氟丙烯（HFP）的高效利用，单位生产成本较进口产品低 22%-25%。 -
产能与市场定位
目前，中船特气六氟丁二烯产能已达 200 吨 / 年，技改项目将进一步巩固其在国内市场的领先地位。根据行业预测，2025 年中国六氟丁二烯需求量将突破 550 吨，国产替代率预计提升至 25% 以上，而中船特气凭借技术和产能优势，有望占据约 30% 的市场份额。
二、行业背景与市场机遇
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半导体产业驱动需求爆发
随着全球半导体制造向 7nm 及以下先进制程演进，3D NAND 存储芯片堆叠层数突破 500 层，对蚀刻气体的性能要求显著提高。六氟丁二烯在深宽比蚀刻和高深宽比结构加工中表现优异，成为替代传统氟碳类气体（如 CF4、C4F8）的核心材料。据测算，2025 年中国大陆半导体用六氟丁二烯需求将达 420 吨，年复合增长率超 20%。 -
国产替代加速推进
长期以来，全球六氟丁二烯市场由日本大金、韩国 SK Materials 等企业垄断，国内企业进口依赖度超 80%。近年来，中船特气、南大光电、昊华科技等国内厂商通过技术攻关实现突破，2024 年国产电子级六氟丁二烯纯度已稳定达到 99.9995% 标准，并成功进入中芯国际、长江存储等头部晶圆厂供应链。政策层面，《半导体材料国产化替代实施方案》明确要求 2026 年前实现关键电子特气国产化率超 60%，直接刺激国内企业加速扩产。 -
竞争格局与中船特气优势
国内六氟丁二烯市场呈现 “一超多强” 格局，中船特气凭借技术领先和产能先发优势位居首位，2025 年预计市占率约 14%。公司在 12 英寸晶圆厂覆盖率超 90%，并通过韩国、日本销售网络逐步拓展国际市场。相比之下，南大光电、昊华科技等竞争对手仍处于产能爬坡阶段，短期内难以撼动中船特气的市场地位。
三、政策支持与产业链协同
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政策红利持续释放
国家将电子特气列为 “卡脖子” 技术攻关重点，财政部对六氟丁二烯生产企业实施 15% 的高新技术企业所得税优惠，工信部更在 2025 年批复 4 个电子特气产业化专项，总投资达 23 亿元。中船特气作为行业龙头，有望获得大基金三期专项投资，进一步强化研发和产能建设。 -
产业链上下游协同
中船特气与国内晶圆厂、设备商建立了深度合作关系。例如，其六氟丁二烯产品已通过中微半导体、北方华创等设备厂商的工艺验证，并与长江存储、长鑫存储签订长期供应协议。同时，公司通过向上游延伸布局六氟丙烯原料产能，向下游开发混配气体解决方案，构建了完整的产业链生态。 -
环保与可持续发展
项目配套建设尾气处理装置和污水处理系统，采用 “冷凝 + 吸附” 工艺将非甲烷总烃排放控制在《石油炼制工业污染物排放标准》特别限值内pericsg.com。此外，公司通过优化工艺参数和能源管理，单位产品碳排放量较 2020 年下降 40%，符合欧盟《含氟温室气体管控条例》要求。
四、战略意义与未来展望
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保障供应链安全
六氟丁二烯是半导体制造的关键材料，其国产化对保障国家信息安全和产业自主可控具有重要意义。中船特气通过技改项目提升产能，可有效缓解国内市场供应压力，降低对进口产品的依赖。 -
推动技术升级与产业转型
项目的实施将带动国内六氟丁二烯产业链技术水平提升，促进超重力精馏、低温吸附等核心设备国产化。同时，中船特气计划在 2026 年前实现 99.9999% 超高纯产品量产，以满足 5nm 以下制程需求，推动半导体材料向高端化发展。 -
国际化布局与市场拓展
中船特气已在韩国、日本设立销售网点，并与东南亚晶圆厂（如马来西亚 GlobalFoundries）开展合作洽谈。随着国产产品性能获得国际认可，公司计划在 2027 年前将海外市场收入占比提升至 15% 以上，逐步打破国际巨头的市场垄断。
五、风险与挑战
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技术替代风险
美国 Lam Research 等企业正在研发氮化镓基干法蚀刻技术，可能减少 30% 六氟丁二烯用量。中船特气需持续投入研发，跟踪技术迭代动态，提前布局下一代蚀刻气体产品。 -
产能过剩压力
国内企业扩产计划密集，预计 2027 年总产能将超 800 吨，可能引发阶段性供过于求。中船特气需通过差异化竞争和高端市场渗透，避免陷入价格战。 -
国际贸易壁垒
欧盟拟将六氟丁二烯纳入 PFAS 限制清单，可能对出口业务造成冲击。公司需加强环保技术研发，确保产品符合国际法规要求。
结语
中船特气年产 200 吨高纯六氟丁二烯技改项目是其深化半导体材料布局、推动国产替代的关键一步。凭借技术领先、产能先发和政策支持，公司有望在未来 3-5 年成为全球六氟丁二烯市场的重要参与者，为中国半导体产业高质量发展提供有力支撑。同时，项目的实施也将为国内电子特气行业树立标杆，加速产业链自主可控进程。
