中船 (邯郸) 派瑞特种气体股份有限公司（以下简称 “中船派瑞”）近日发布《年产 200 吨高纯六氟丁二烯建设项目环境影响评价公众参与征求意见稿公示》，宣布将投资 382.57 万元对现有生产线进行技术改造，项目投产后可形成年产 200 吨高纯六氟丁二烯的产能，将有效缓解国内半导体行业对该类关键电子特气的进口依赖。
项目核心信息：依托现有产能升级 聚焦高纯提纯工艺
公示信息显示，该项目位于中船派瑞邯郸现有厂区 1 区，性质为改扩建，无需新增用地。项目将依托已建成的高纯六氟丁二烯生产线部分设备，通过技术改造优化精馏提纯系统，以六氟丁二烯粗品为原料，经精密分离提纯后产出高纯产品，最终实现 200 吨 / 年的产能规模。
“项目采用成熟的多级精馏提纯工艺，通过精确控制温度和压力参数，可有效去除原料中的微量杂质，确保产品纯度达到 99.999% 以上的电子级标准。” 中船派瑞技术负责人介绍，生产线将配套完善的尾气处理和密封存储系统，严格遵循《GB/T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯》国家标准，确保生产过程环保合规。
产品战略价值：半导体先进制程的 “关键蚀刻剂”
六氟丁二烯（C4F6）作为第三代环保型蚀刻气体，具有高蚀刻率、高选择性、低温室效应等核心优势，其臭氧消耗潜能值（ODP）为 0，大气停留时间仅 1.9 天，是替代传统高 GWP 蚀刻气体的理想选择。该产品主要应用于 7nm 及以下先进制程集成电路制造，可精准刻蚀硅、二氧化硅等材料，在逻辑芯片、存储芯片及 OLED 显示面板生产中不可或缺。
长期以来，国内电子级六氟丁二烯市场高度依赖进口，2023 年进口依赖度仍高达 78%，核心供应被日本关东电化、韩国厚成化学等国际巨头垄断。随着中芯国际、长江存储等国内半导体企业先进制程产线加速扩建，市场需求持续激增，单座月产 5 万片的 12 英寸晶圆厂年消耗量超 15 吨。中船派瑞该项目的落地，将填补国内规模化量产空白，为下游企业提供稳定的本土供应渠道。
行业背景：电子特气国产化加速 政策市场双重驱动
电子特气是半导体制造的核心耗材，约占晶圆制造成本的 13%，其国产化率直接关系产业链安全。数据显示，2023 年国内电子特气市场规模达 249 亿元，预计 2025 年将增至 279 亿元，但目前海外巨头仍占据 86% 的市场份额，国产化率亟待提升。
作为国务院国资委 “双百行动” 试点企业和国内电子特气龙头，中船派瑞已在含氟特气领域形成技术壁垒，其核心产品三氟化氮国内市占率超 60%，六氟化钨市占率超 70%，客户覆盖台积电、中芯国际、三星等全球头部企业。此次新项目是公司在高端蚀刻气体领域的重要布局，将进一步完善其电子特气产品矩阵。
环评公示要点：公众可通过多渠道反馈意见
根据《环境影响评价公众参与办法》要求，本次公示期内，公众可通过中船派瑞官网（www.pericsg.com）、联系电话（0310-7182716）或邮箱（pericsg@pericsg.com）查阅项目详情，反馈关于项目环保措施、环境影响等方面的意见和建议。
公示文件明确，项目将采用封闭化生产流程，配套废气处理系统和专用密封存储设备，严格控制污染物排放，符合《电子工业污染物排放标准》要求。生产过程中产生的少量废液将经专业处理后达标排放，固体废物将委托有资质单位处置，确保环境安全。
市场展望：2030 年国产化率有望突破 65%
业内专家指出，随着国内半导体产业 “自主可控” 需求升级，叠加《重点新材料首批次应用示范指导目录》等政策支持，电子级六氟丁二烯国产化进程将持续加速。预计到 2030 年，国内相关产能将突破 3500 吨 / 年，国产化率有望提升至 65% 以上。
中船派瑞相关负责人表示，项目投产后将进一步降低国内半导体企业的采购成本，预计产品单价较进口产品降低 15%-20%。同时，公司将依托 “四大生产基地 + 七大仓储中心” 的全国布局，实现产品 24 小时应急供应，为国内先进制程芯片制造提供关键材料保障。
