近日，中智信投研究院发布了《中国氟氪氖混合气市场机遇研究及竞争战略创新报告（2026-2032年）》。报告指出，作为半导体制造中的关键电子特种气体，氟氪氖混合气市场正迎来稳健增长期。随着全球晶圆厂产能扩张及成熟制程需求的持续释放，该细分领域的市场空间与本土化替代进程备受业界关注。
半导体光刻核心耗材迎来新机遇： – 气体行业配图
氟氪氖混合气是由电子级高纯氟气、氪气和氖气精密混配而成的特种气体，主要作为KrF准分子激光器的工作介质。在高压放电下，它能产生波长约248纳米的深紫外激光。该产品不仅广泛应用于半导体KrF光刻工艺，还在显示面板制造、精密激光微加工及科研医疗等领域发挥着不可替代的作用。由于其对纯度、配比误差及杂质控制要求极高，行业技术壁垒显著，全球平均毛利率维持在35%至45%的较高水平。
半导体光刻核心耗材迎来新机遇： – 气体行业配图
从竞争格局来看，全球市场目前由林德、液化空气、空气化工等少数跨国气体巨头主导，它们在危险品物流和质量体系方面优势明显。然而，在供应链安全诉求提升的背景下，中国本土企业如金宏气体、华特气体、凯美特等正加速崛起。依托稀有气体提纯技术的突破和电子混合气产线的完善，国内厂商在本地化供应和客户认证方面不断取得突破，逐步打破外资垄断。
展望未来，尽管气体减量技术和回收系统的推广可能对需求增速产生一定抑制，但在政策大力支持下，电子特气本地化已成为必然趋势。对于气体企业而言，构建多元化的原料来源、严控产品质量并深化本地化服务能力，将是抢占未来市场先机的核心战略。
