全椒南大光电材料有限公司新建年产 23 吨氟类特气项目水土保持方案报告正式公示。该项目总投资 1 亿元，选址滁州市全椒县，将建设半导体级四氟化锗、三氟化磷生产线，同步落实高标准水土保持措施，助力区域电子材料产业配套升级。
项目总建筑面积 7927 平方米，涵盖生产车间、仓库、综合楼等主体设施，配套 804 米雨水管网及 0.70 公顷绿化工程。施工中采用土石方内部平衡（总量 0.62 万立方米）、临时排水沟、沉沙池及裸露面苫盖等措施，确保水土流失防治达到南方红壤区一级标准。
作为半导体制造关键材料，四氟化锗、三氟化磷广泛应用于芯片掺杂、离子注入等核心工艺全椒县政府。南大光电作为国内电子特气龙头企业，此次项目达产后将形成年产 23 吨高纯产品的供应能力，填补区域高端氟类特气产能空白，为国内晶圆厂提供本土化配套支持，助力半导体产业链自主可控南大光电。项目既契合半导体产业国产替代趋势，又通过绿色施工理念实现生态保护与产业发展双赢。
