兴鲁空分 6N 级超纯液氧装置投产 填补高端高纯气体供应短板

 

苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司自主打造的6N 级（99.9999%）超纯液氧装置已正式投产，这是公司在高纯气体装备领域实现从工业级向电子级跨越的关键里程碑，也为国内高端制造领域高纯液氧供应注入新动能。

 

该装置以工业级液氧（纯度 99.6% O₂）为原料，依托自主研发的精馏与纯化核心技术，实现超纯液氧的稳定量产，纯度精准达到 6N 级标准。项目采用全撬装化结构设计，核心设备在工厂内完成预制与组装，现场安装周期大幅缩短，不仅降低了施工难度与现场管理成本，更实现了 “设备就位、一次调试达标” 的高效投产目标，以技术与效率双重优势赢得市场高度认可。

 

 

6N 级超纯液氧是半导体、高端电子、航空航天等领域的关键核心材料，广泛应用于半导体氧化工艺、晶圆清洗、航天推进剂制备等核心环节，其纯度直接决定下游产品良品率与性能稳定性。此次装置的投产，有效填补了区域乃至国内高端高纯液氧的供应缺口，为半导体、光伏等战略性产业提供了稳定、可靠的高纯气体保障，助力相关领域摆脱对进口产品的依赖，推动产业链自主可控升级。

 

作为深耕低温技术领域 30 余年的空分装备企业，兴鲁空分此次 6N 级超纯液氧装置的成功落地，进一步巩固了其在高纯气体提纯领域的技术领先地位，也为我国工业气体产业向高端化、精细化发展提供了有力支撑，为制造业绿色低碳转型与高质量发展注入新的技术底气苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司。