新版《电子气体 锗烷》国家标准发布,助力半导体材料高质量发展

近日,国家市场监督管理总局与国家标准化管理委员会联合发布了最新版国家标准 GB/T 31987-2026《电子气体 锗烷》。该标准将于2026年11月1日起正式实施,并全面替代2015版旧标准。这一新国标的出台,标志着我国在高端电子特种气体领域的标准化建设迈出了坚实的一步。

新版《电子气体 锗烷》国家标准发布,助力半导体材料高质量发展

新版《电子气体 锗烷》国家标准 – 气体行业配图

新版《电子气体 锗烷》标准详细规定了锗烷产品的技术要求、采样方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全信息等方面的规范,并描述了相应的试验方法。在适用范围上,该标准明确涵盖了以氧化锗、氯化锗或锗镁合金为原料制备的锗烷产品,为生产和使用企业提供了全面、科学的质量评判依据。

新版《电子气体 锗烷》国家标准 – 气体行业配图

据悉,该标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。在起草过程中,汇聚了昊华气体、华特气体、中国测试技术研究院化学研究所、云南驰宏国际锗业等三十余家国内气体行业头部企业及权威科研院所。广泛的行业参与不仅确保了标准的科学性与实用性,也充分反映了国内电子气体产业的技术共识与发展诉求。

锗烷作为一种关键的高纯电子特气,广泛应用于半导体集成电路、光纤通信、红外光学及太阳能电池等高端制造领域。随着全球半导体产业的快速扩张和国内晶圆厂产能的持续释放,市场对高纯锗烷的需求日益增长。此次新国标的发布与实施,不仅有助于进一步规范国内锗烷市场的生产与流通,提升产品质量的一致性与可靠性,更将有力推动我国电子气体产业链的自主可控与高质量发展,为半导体材料的国产化替代注入强劲动力。

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