宿州伊维特8种5N级特气产品集中验收,半导体“补气”再提速

 

   2026年7月17日,一份竣工环境保护验收监测报告在特气网正式公示。公示的对象,是宿州伊维特新材料有限公司半导体气体、材料研发及国产化二期扩建项目——一个总投资超4亿元的省级重点项目。

   从2020年7月第一次环评公示,到2026年7月最新一批产品通过验收,这个项目已经跑了整整六年。


 

一、三个厂区,一张”气体网”

 

   伊维特的二期扩建工程,分三个阶段展开。

  • 一阶段在一厂区预留地块新建三座车间。C车间负责六氯乙硅烷和正硅酸乙酯分装,产能320吨/年;D车间负责混配气,产能4.5万立方米/年;E车间负责六氟乙烷与八氟环丁烷纯化分装,产能500吨/年。
  • 二阶段跨过金安路,进入新征的109.94亩地块——规划年产6000吨电子级笑气。2026年5月,这一阶段已完成验收。
  • 三阶段覆盖可燃性及腐蚀性气体630吨/年、可燃性气体及大宗气体8.575万立方米/年。2026年7月17日公示的,正是三阶段”一步骤第二批次”的产品。

宿州伊维特8种5N级特气产品集中验收,半导体“补气”再提速


 

二、8种产品,纯度全达5N级

 

   本次验收涵盖8种高纯气体产品,所有产品纯度均达99.999%(5N级)以上。以下是详细产品方案:

 
 
产品名称 产能 纯度
三甲基硅烷(3MS) 30吨/年 99.999%
四甲基硅烷(4MS) 10吨/年 99.999%
丙烯 1000瓶 99.999%
氨气 9000立方米 99.999%
氩气 9000立方米 99.999%
氢气 9000立方米 99.999%
氦气 9000立方米 99.999%
氙气 1000立方米 99.999%

   三甲基硅烷和四甲基硅烷是半导体沉积工艺的关键前驱体;高纯氨气用于氮化硅薄膜沉积;高纯氙气用于芯片蚀刻。每一种,都是晶圆厂生产线上的”刚需”。这些产品均采用物理纯化工艺,原料与产品量保持一致。


宿州伊维特8种5N级特气产品集中验收,半导体“补气”再提速


 

三、七年长跑:从2020到2026

 

   项目始于2020年7月28日,宿州经济技术开发区官网发布环评第一次公示。彼时规划总投资约4.06亿元。

   此后,项目稳步推进:2021年,二期作为安徽省重点项目启动建设;2023年4月,安徽新闻联播报道二期工地已完成土建,正在进行电力接入施工;2024年8月,三阶段(一步骤)通过宿州市应急管理局安全设施设计审查;2025年6月,项目首次阶段性竣工环保验收公示;2025年10月,宿州市市长任东专程调研伊维特项目现场;2026年5月,二阶段(6000吨/年电子级笑气)通过验收;2026年7月17日,三阶段最新一批产品验收公示。

   七年时间,从一纸环评到多批产品陆续投产验收。节奏不算快,但每一步都没有缺席。


宿州伊维特8种5N级特气产品集中验收,半导体“补气”再提速


 

四、打破垄断:国产特气的”补位”

 

   高纯特种气体被称作半导体制造的”工业血液”。蚀刻、清洗、沉积——几乎每一个核心工艺都离不开特定气体。长期以来,这一市场被德国林德、法国液化空气、美国空气化工等国际巨头垄断。

   伊维特的目标,正是打破这种垄断。这家成立于2017年的企业,隶属于浙江陶特容器科技股份有限公司。一期项目已实现年产6000吨电子级氧化亚氮,产能全国第一,完成了该产品的完全国产化。二期项目规划37个5N以上高纯特种电子气产品。全部建成后,预计年产值超8亿元,税收6000万元以上。


宿州伊维特8种5N级特气产品集中验收,半导体“补气”再提速


 

五、从”补气”到”供气”

 

   2026年7月17日的这份公示,是项目推进中的又一个节点。它不是终点——三阶段后续批次产品还在路上,更长的产品线还在规划中。

   但对这座皖北工厂而言,每通过一批产品的验收,就意味着国内晶圆厂多了一个国产供应商的选择。在半导体产业链自主可控的叙事中,伊维特的故事不算宏大,但足够具体——七年长跑,只为把”气”补上。

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