近日，昊华气体有限公司位于洛阳市孟津区先进制造业开发区的高纯气体改造项目环评信息持续披露，项目总投资 900 万元，通过工艺升级与设备改造，将电子级高纯六氟化硫产能从 1300 吨 / 年提升至 2000 吨 / 年，产能增幅超 53%，为国内电力装备、半导体行业提供关键材料支撑。
据环评公示显示，此次改造采用 “双路径提产” 策略：一方面对现有 1300 吨 / 年高纯六氟化硫生产线进行电解工艺优化，通过升级电解槽参数与反应控制逻辑，使单线产能提升 11.92% 至 1550 吨 / 年；另一方面创新性复用厂区现有四氟化碳生产线的 12 台电解槽，新增氟硫反应器、热解装置等关键设备，实现两种气体共用电解系统却独立生产的技术突破，额外新增六氟化硫产能 450 吨 / 年。项目依托厂区现有纯化装置与公用工程，无需新征土地，仅在原有车间内完成设备改造与布局调整，预计建设周期可压缩至 6 个月以内。
作为项目核心产品，电子级高纯六氟化硫因优异的绝缘与灭弧性能，广泛应用于特高压输电设备、半导体刻蚀等高端领域。目前我国高端六氟化硫市场仍有 20% 左右依赖进口，昊华气体此次扩产将进一步填补国产替代缺口。公开信息显示，该公司洛阳基地已形成覆盖三氟化氮、六氟化钨、超纯氨等多品类的电子特气产能矩阵，其中三氟化氮总产能达 5000 吨 / 年，位列国内前三。
环评文件重点明确了环保管控措施。针对生产过程中产生的氟化物废气，项目将沿用成熟的 “水洗塔 + 碱洗塔” 二级处理工艺，确保排放浓度符合《无机化学工业污染物排放标准》；新增设备产生的少量含氟废水，将接入厂区现有 “石灰石中和 + 絮凝沉淀” 处理系统（日处理能力 60m³），经预处理达标后送入吉利工业污水处理厂深度处理。固废处置方面，氟化盐等危险废物将交由有资质单位资源化利用，一般固废则通过厂家回收实现循环利用，全过程杜绝二次污染。
此次改造是昊华气体完善电子特气产能布局的重要举措。作为中国中化旗下核心特气企业，该公司近年加速产能扩张，西南基地 11.46 亿元电子特气项目已于 2024 年开工，大连基地则聚焦烷类特种气体研发生产，形成 “洛阳 + 自贡 + 大连” 三地互补的产业格局。业内人士指出，随着新能源、半导体产业快速发展，国内电子特气市场需求年均增速超 15%，昊华气体此次产能升级将进一步巩固其在含氟特气领域的领先地位。
目前项目环评公示已进入公众意见征询阶段，公众可通过信函、电子邮件等方式向建设单位反馈意见。若进展顺利，项目有望于 2025 年底建成投产，预计年新增营收超 8000 万元，助力洛阳打造国内重要的电子特气产业集群。
