绍兴盈德气体有限公司投资建设的杭州湾上虞经济技术开发区高纯电子特气项目正式完成备案。该项目总投资达 12.2 亿元，聚焦半导体制造核心用气产能建设，预计 2026 年 6 月开工、2029 年 5 月建成，投产后将大幅提升国内高端电子特气自主供应能力，为长三角半导体产业集群提供关键材料保障。
项目落地：12.2 亿打造 “全品类气体供应枢纽”
备案信息显示，该项目选址于绍兴市上虞区杭州湾上虞经开区进港公路，新征用地 77.23 亩，将新建综合楼、厂房等总建筑面积 56669 平方米的建构筑物，核心生产体系由 6 套高端装置构成：15000Nm³/h 空分装置、3000Nm³/h 粗氟氙精制装置、40Nm³/h 氖氦精制装置、2000Nm³/h 超纯氧装置、3840m²/a 液氦分装装置及 45t/d 电子级二氧化碳装置，同时配套空气压缩机、精馏分离塔器等精密设备。
从产能规划看，项目实现 “基础工业气体 + 高端电子特气” 全覆盖：其中管道氧气年产 129.6 亿 Nm³、管道氮气 22.38 亿 Nm³，满足园区基础制造用气需求；液氮、液氧等液体产品年产超 6.3 万吨；更值得关注的是，氟气、氙气、氖气等高端电子特气年产分别达 267.62 吨、31.65 吨、116.75 吨，液氦产能达 491.52 吨，电子级二氧化碳 1.62 万吨。根据备案测算，项目投产后预计年销售收入 18.05 亿元，实现利润 4.57 亿元，利润率达 25.3%，远超行业 15.8% 的平均水平，同时年缴税收 1886 万元。
区位协同：嵌入上虞半导体产业生态
此次项目落地的杭州湾上虞经开区，正加速形成以半导体材料、高端装备为核心的先进制造集群。目前该园区已集聚晶盛机电（半导体大硅片设备）、中欣晶圆（硅片制造）、安测半导体（检测设备）等龙头企业，2024 年更有 3 个半导体相关项目入选省重大产业项目，形成从设备制造到材料生产的完整产业链雏形。
盈德气体此次布局恰好填补了区域高端电子特气供应缺口。事实上，盈德气体此前已在该园区建成工业气体岛二期项目，通过管道为企业供应基础气体，此次新增高纯特气产能后，将实现与园区半导体企业 “用气需求全匹配”。”园区内企业在光刻、刻蚀等工艺中对氙气、氖气需求迫切，项目投产后可通过管道直供降低客户运输成本，同时依托现有气体岛的原料优势提升提取效率。” 盈德气体相关负责人表示。目前，盈德气体在日照、江都建成的氪氙精制工厂已稳定供应铠侠电子、台积电等头部企业，上虞项目将进一步强化其在华东地区的供应能力。
行业破局：直击高端特气 “卡脖子” 痛点
电子特气作为半导体制造的 “血液”，占芯片制造耗材成本的 14%，但国内高端市场长期被国际巨头垄断。数据显示，2025 年中国电子特气市场规模将达 279 亿元，年增速 10%，但高端产品国产化率仅约 25%，其中光刻用氖气混合物、EUV 光刻配套氙气等关键品类进口依赖度超 90%。
此次项目的产能释放精准指向这些 “卡脖子” 领域。其中，年产 31.65 吨的氙气是 EUV 光刻机的核心配套材料，其纯度直接影响光刻精度与芯片良率；267.62 吨氟气则是光刻混合气的关键组分，需通过特殊钝化处理实现高纯度供应，此前国内仅有少数企业能突破相关技术壁垒；而 491.52 吨液氦产能，将缓解低温超导检测设备用氦紧张的局面 —— 这类产品长期被美国空气化工、德国林德等企业垄断。业内测算，项目投产后可使国内氙气、氖气自主供应能力提升约 5 个百分点。
盈德气体的技术储备为项目落地提供支撑。作为国内工业气体龙头企业，其目前拥有 350 万 Nm³/h 氧气产能，在空分提氦、氪氙精制等领域具备原料优势，此次新建的 3000Nm³/h 粗氟氙精制装置更是其 “领氙” 计划的重要组成部分，技术水平对标亚太地区先进产能。项目生产的超纯氧纯度预计可达 99.9999%，氖气、氦气纯度突破 99.999%，能够满足 14nm 及以下先进制程需求。
产业意义：加速半导体材料自主化进程
在半导体产业复苏与国产化浪潮叠加的背景下，该项目的战略价值尤为凸显。SEMI 数据显示，2023 年半导体行业库存调整已接近尾声，2025 年全球硅晶圆出货量预计增长 3.8%，其中 AI 芯片、HBM 存储等高端领域需求强劲，直接拉动电子特气消费升级。而上虞项目恰好在此时补位高端产能，与中芯国际、长江存储等本土晶圆厂扩产节奏形成呼应。
从区域发展看，项目将进一步完善上虞半导体材料产业链。目前该区已通过校地合作引入浙江大学半导体材料研究中心等 12 家大学研究院，攻克 5 项 “卡脖子” 技术，盈德气体的落地将实现 “研发 – 中试 – 量产” 的闭环支撑，助力上虞打造 “中国半导体材料新高地”。项目建设阶段预计提供 1200 个就业岗位，运营期将创造近百个高端技术岗位，年纳税可达 5000 万元左右。
业内专家指出，随着上虞项目 2029 年投产，盈德气体将形成 “基础气体 + 稀有气体 + 电子特气” 的全品类供应能力，不仅能服务长三角半导体产业，更有望依托宁波港辐射海外市场。在国家政策持续支持下，这类产能扩张将加速推动中国电子特气 2030 年国产化率突破 50% 的目标实现
