1 月 8 日，上海栎智科技（二期）工厂在松江集成电路产业集群核心区域举行投产剪彩仪式。作为国家级高新技术企业与上海市专精特新企业，栎智科技此次新增先进制造基地，将聚焦半导体特气输送系统等核心设备的规模化生产，为国内半导体产业链补链强链注入关键动能。
二期工厂：打造高端装备制造标杆
新落成的二期工厂定位为先进半导体装备制造基地，占地面积与产能规模较一期实现翻倍扩张，核心配置全面对标国际先进水平。工厂不仅配备万级高标准洁净厂房、全自动精密焊接设备及激光干涉仪等精密检测仪器，还专门搭建核心零部件功能验证测试平台，可实现从原材料检测到成品性能验证的全流程闭环管控。
据栎智科技负责人介绍，二期工厂将重点发力五大类核心产品：特气输送系统设备、电子特气充装设备、化学品输送系统设备、电子化学材料成套设备及非标定制设备。这些产品可覆盖半导体制造的光刻、蚀刻、沉积等全流程关键环节，其工艺精度直接影响芯片制造的良率与稳定性，目前已通过 SEMI 2、CE – 化学品、GC2 特种设备生产许可等多项权威认证。
技术突破：破解特气输送国产化瓶颈
半导体特气输送系统因涉及超高纯介质传输、精密流量控制及严苛安全标准，长期被少数国际厂商垄断，核心设备国产化率不足 30%。栎智科技通过十余年技术积累，已在该领域实现多项关键突破。
公司自主研发的关键工艺定制化气控设备（Gas Box）、液态源输送设备（LDS）等产品，打破国外技术壁垒，可适配 7nm 及以下先进制程需求，其中液态源鼓泡输送设备（VDS）的介质纯度控制精度达 99.9999% 以上。依托二期工厂的智能生产线，这些核心设备的年产能将提升至 3000 台（套），交付周期较此前缩短 40%，可有效缓解国内头部晶圆厂的设备供应压力。
在具体应用中，栎智科技的设备已获得市场充分验证。2025 年 5 月，公司成功中标中船（邯郸）派瑞特种气体 150 吨液氦项目的液氦分装装置，中标金额达 603 万元；同年 10 月，又接连拿下特殊气体管道配管及焊接安装项目，进一步巩固在高端特气装备领域的市场地位。
产业意义：完善松江半导体生态布局
松江作为上海集成电路产业的重要承载区，已形成从材料、设备到制造的完整产业链生态。栎智科技二期工厂的投产，恰好填补了区域内高端特气输送装备规模化制造的空白，与周边晶圆厂、气体供应商形成协同效应。
“二期工厂投产后，我们可实现与松江及长三角地区的半导体企业‘小时级’响应供货。” 栎智科技负责人表示，公司将依托松江优越的产业配套，进一步深化与长鑫存储、上海积塔等头部企业的合作，同时拓展前驱体生产成套设备、光刻胶全自动上下料设备等新赛道。
业内专家指出，随着国内半导体产能加速扩张，特气输送系统市场需求年均增速超 20%。栎智科技二期工厂的投产，不仅提升了核心设备的国产化供给能力，更通过技术溢出带动上下游产业链升级，为我国半导体产业自主可控提供重要支撑。
目前，栎智科技已参与多项国家及行业标准的编写，二期工厂的智能生产线还将承担新工艺验证与人才培养功能。未来，公司计划将研发投入占比提升至营收的 15%，聚焦高压高纯化、流体系统仿真等前沿技术，持续推动半导体装备产业的国产化进程。
