中核燃料 1422 万布局高端电子特气 沧州四氟化锗混氢项目公示 填补国产空白

2 月 3 日,沧州市行政审批局发布环评公示,拟审批中核燃料沧州有限公司四氟化锗灌混氢生产线建设工程项目。该项目总投资 1422.47 万元,选址于沧东经济开发区中核核燃料园内,建成后将形成年产 100kg 四氟化锗混氢气体的产能,同时预留三氟化硼灌装生产空间,标志着央企正式入局高端电子特气细分赛道,为我国半导体关键材料自主化再添新动力。

电子特气被誉为 “半导体血液”,贯穿芯片制造的光刻、蚀刻、沉积等全流程,占半导体材料总成本的 14%,仅次于硅片。2024 年全球电子特气市场规模达 216 亿美元,预计 2030 年将增至 480 亿美元,年复合增长率 14.2%,而我国作为全球最大电子制造业基地,已成为核心增长引擎。

中核燃料 1422 万布局高端电子特气 沧州四氟化锗混氢项目公示 填补国产空白

尽管市场空间广阔,但我国高端电子特气进口率仍超 70%,其中光刻气、氟基蚀刻气等关键品种进口率高达 90%。近年来,华特气体、金宏气体等民企率先突破,中核燃料等央企的加入将形成 “民企攻坚 + 央企兜底” 的格局,加速构建自主可控的电子特气产业生态。
 
业内专家指出,该项目的环评公示是我国电子特气国产替代向细分高端领域延伸的重要信号。随着项目落地投产,将为中芯国际、长江存储等头部晶圆厂提供本土化供应选择,同时推动国内四氟化锗产业链从上游锗提纯到中游气体合成的协同发展,助力我国半导体产业向更高制程、更高自主化水平迈进。

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