国内电子特气龙头南大光电（300346）近日在乌兰察布察哈尔高新技术开发区抛出重磅投资 ——8 亿元建设年产 1 万吨高纯电子级三氟化氮工业项目，分四期推进，一期 2000 吨，二三期各 4000 吨，四期预留。这一投资标志着南大光电在三氟化氮赛道的战略升级，从 “电子级” 向 “高纯电子级” 精准转型，剑指 5.5N 级及以上高端半导体市场，试图在国内三氟化氮中低端产品价格内卷的激烈竞争中开辟新蓝海。
一、战略升级：从 “电子级” 到 “高纯电子级”，两字之差藏乾坤
南大光电的三氟化氮布局始于 2021 年获批的 “年产 7200 吨电子级三氟化氮项目”，当时分四期建设，每期 1800 吨。然而，2025 年 10 月 29 日，公司宣布将原项目未使用的 9217.50 万元募集资金全部用于 “年产 2000 吨高纯电子级三氟化氮扩产项目”，总投资约 3.68 亿元，聚焦 5.5N 高纯度产品规格深圳证券交易所。最新环评公示显示，公司进一步加码，将总产能提升至 1 万吨，全面转向高纯电子级赛道。
这一战略转变的背后，是南大光电对行业趋势的精准判断。环评文件明确指出，定位变化源于两大关键因素：
- 产业转移红利：随着半导体、显示面板行业生产及消费重心逐渐向我国转移，高端电子特气需求快速增长
- 供应链安全保障：生产三氟化氮的主要原料均由国内供给，为高纯产品生产提供稳定基础
“从 7200 吨到 1 万吨，不仅是产能的简单提升，更是产品定位的质变。” 业内专家分析，”当竞争对手还在中低端市场拼价格时，南大光电已抢先布局高端赛道，这正是其破局价格内卷的关键一步。”
二、项目核心：8 亿投资打造高纯电子特气新基地，分阶段推进
该项目总投资 8 亿元，建设周期 36 个月，选址于乌兰察布察哈尔高新技术开发区，属于扩建项目。具体建设内容如下：
| 建设阶段 | 产能规划 | 配套产品 | 战略意义 |
|---|---|---|---|
| 一期 | 2000 吨 / 年高纯电子级三氟化氮 | 1600 吨 / 年氢氟酸、50 吨 / 年氨水 | 奠定高纯技术基础，验证市场需求 |
| 二期 | 4000 吨 / 年高纯电子级三氟化氮 | 3200 吨 / 年氢氟酸、100 吨 / 年氨水 | 扩大高端产能，形成规模效应 |
| 三期 | 4000 吨 / 年高纯电子级三氟化氮 | 3200 吨 / 年氢氟酸、100 吨 / 年氨水 | 全面释放产能，巩固市场地位 |
| 四期 | 预留 | – | 应对未来市场增长，保持战略弹性 |
值得注意的是，2026 年 1 月 6 日，南大光电拟以自有资金 7760 万元现金收购控股子公司南大光电（乌兰察布）有限公司合计约 16.17% 股权，交易完成后持股比例将由 74.88% 提升至 91.05%，彰显对三氟化氮业务的绝对掌控与坚定信心。
三、市场背景：国内三氟化氮国产化成功但陷入价格战，高端化成破局之道
三氟化氮是微电子制造中关键的含氟电子特气，主要用于等离子体刻蚀与反应腔清洗，在 3D NAND、DRAM 等先进存储芯片制造中不可或缺。作为市场规模最大的电子特气品种，三氟化氮国产化较为成功，2023 年中国已成为净出口产品，出口量 2545.42 吨，是进口量 344.23 吨的 7.39 倍。
然而，伴随国内多个项目产能快速释放，市场竞争日益激烈，5N 级及以下产品面临严重价格内卷形势，价格战导致行业利润空间被大幅压缩。向更高纯度（5.5N 级及以上）拓展切入高端半导体市场成为部分企业的破局之道。
与此同时，全球三氟化氮需求持续增长。TECHCET 数据显示，预计 2025 年全球需求增长至 6.37 万吨左右，需求量增长空间超过 1 倍、年复合增长率达到约 15%。中船特气公告预测，2026 年我国三氟化氮需求量将达到 4.14 万吨，高端产品需求增速更快。
四、竞争格局：国内三氟化氮第一梯队格局初显，高端市场成新战场
目前国内三氟化氮第一梯队企业包括中船特气、昊华科技、南大光电，三家企业合计现有年产能达到 2.43 万吨，在建年产能 2.08 万吨，占据国内市场主体。
| 企业名称 | 现有产能 | 技术特点 | 市场定位 |
|---|---|---|---|
| 中船特气 | 领先 | 规模化生产能力强 | 覆盖中高端市场 |
| 昊华科技 | 领先 | 全产业链布局 | 中高端为主 |
| 南大光电 | 快速扩张 | 高纯技术突破 | 聚焦高端市场 |
| 湖北和远气体 | 较小 | 区域市场优势 | 中端为主 |
| 湖南凯美特气 | 较小 | 环保工艺 | 中低端为主 |
南大光电凭借 “产学研深度融合” 特色，背靠南京大学微结构国家实验室，在超高纯气体分离与痕量杂质检测技术上具备独特优势。2024 年，公司高纯三氟化氮已实现规模化生产，每月产量约 150 吨，满足国内外十几家超高纯三氟化氮需求客户的供应。
五、战略意义：抢占高端赛道，助力半导体材料自主化
南大光电此次战略升级具有多重意义：
- 突破价格内卷：通过 5.5N 级及以上高纯度产品切入高端市场，避开中低端产品价格战，提升盈利能力
- 技术壁垒构建：高纯电子级三氟化氮对提纯技术、痕量杂质控制要求极高，形成新的技术壁垒，提升行业准入门槛
- 供应链安全保障：满足国内先进制程芯片制造对高端电子特气的需求，减少对进口依赖，助力半导体材料自主化
- 产业协同发展：乌兰察布基地享受西部大开发税收优惠（所得税减按 15% 征收），9500 吨氟类特气产能投产，单位成本下降 10%，构筑规模壁垒
业内专家指出，南大光电的战略转型恰逢其时。2025 年 5 月，日本三井化学宣布退出三氟化氮生产；2025 年 8 月，日本关东电化涩川工厂发生爆炸事故，全球三氟化氮供给侧出现约 3700 吨产能真空，国内厂商迅速承接海外溢出订单，预计全球市场份额将进一步扩大。这为南大光电等国内企业进军高端市场提供了绝佳机遇。
六、未来展望：高纯三氟化氮市场空间广阔，南大光电面临双重挑战
随着集成电路制程技术节点微缩、3D NAND 多层技术发展，芯片工艺尺寸越来越小，堆叠层数增加，集成电路制造中进行刻蚀、沉积和清洗的步骤增加，高纯三氟化氮需求将快速增长。预计 2025 年全球需求增长至 6.37 万吨左右，需求量增长空间超过 1 倍、年复合增长率达到约 15%。
然而，南大光电也面临双重挑战：
- 技术挑战：5.5N 级及以上高纯三氟化氮核心技术仍部分掌握在国外企业手中，国内企业需持续突破技术瓶颈
- 认证周期：高端半导体客户认证周期长，产品从研发到大规模应用需要一定时间，短期内业绩贡献有限
总体而言，南大光电 8 亿元加注高纯电子级三氟化氮项目，是其在电子特气赛道的一次战略豪赌，更是对行业趋势的精准把握。随着国内半导体产业持续发展和高端电子特气需求增长，这一战略转型有望为公司带来新的增长极，同时为中国电子特气产业高质量发展注入强劲动力。
