2025 年 6 月 27 日，浙江普锐斯气体有限公司的 “年产 1.9 万吨超纯电子绿色特气智能充装项目” 正式通过浙江省台州市仙居县发展和改革局备案。该项目总投资 1.15 亿元，计划在仙居县下各镇玉泉村建设充装车间、乙类仓库、钢瓶制造生产线等设施，预计 2026 年 3 月开工，2028 年 3 月建成投产。项目建成后，将形成年充装一氧化二氮 5000 吨、氦气 100 吨、氩气 3300 吨、氮气 3300 吨、二氧化碳 3300 吨和氧气 4000 吨的产能，产品主要面向半导体、显示面板等高端制造领域。
一、项目技术亮点与环保实践
作为国内新兴的电子特气企业，浙江普锐斯气体有限公司此次备案的项目聚焦 “超纯” 与 “绿色” 两大核心目标。根据行业标准，电子特气纯度通常需达到 5N（99.999%）以上，部分高端应用如集成电路制造甚至要求 6N（99.9999%）或更高。虽然具体产品纯度参数尚未完全披露，但项目定位为 “超纯电子特气”，预计其生产的氩气、氮气等气体纯度将满足半导体级标准，例如氩气纯度或达到 99.999% 以上，以满足刻蚀、清洗等关键工艺需求。
在环保方面，项目将采用先进的废气处理系统，例如针对含氟、含氯废气的 “多级喷淋 + 活性炭吸附” 工艺，以及针对有机废气的 “沸石转轮吸附 + 催化燃烧” 技术，确保废气排放符合《电子工业污染物排放标准》（GB 39726-2020）等严格要求。同时，项目通过优化生产流程，减少水资源消耗，并配套建设废水处理设施，实现生产废水循环利用，降低对环境的影响。
二、市场背景与行业意义
电子特气是半导体制造的关键材料，被誉为 “电子工业的粮食”，广泛应用于光刻、刻蚀、成膜等核心环 节。据行业报告，2023 年中国电子特气市场规模已达 249 亿元，预计 2025 年将增至 279 亿元，年复合增长率约 12.8%。然而，国内市场长期被林德、液化空气等国际巨头垄断，国产化率不足 25%。浙江普锐斯气体的项目建成后，将有效补充国内超纯电子特气的产能缺口，推动半导体材料自主化进程。
以项目主打产品一氧化二氮（N₂O）为例，其在半导体行业主要用于化学气相沉积（CVD）和光刻胶剥离工艺。随着国内晶圆厂扩产和先进制程推进，一氧化二氮需求持续增长。目前国内市场主要依赖进口，普锐斯的产能释放将有助于降低对外依存度，提升产业链供应链稳定性。
三、区域经济与产业协同效应
项目所在地仙居县是浙江省重要的工业基地，近年来积极布局半导体、新能源等新兴产业。普锐斯气体项目的落地，将与当地已有的半导体材料企业形成协同效应，例如与晶圆制造企业合作提供定制化气体解决方案，推动区域产业集群发展。此外，项目计划建设钢瓶制造生产线，实现气体充装与包装的一体化，进一步降低物流成本，提升市场竞争力。
从更宏观的角度看，该项目符合国家 “双碳” 战略导向。通过采用节能设备和清洁能源，项目在生产过程中可显著降低碳排放。例如，利用太阳能光伏发电满足部分生产用电需求，减少化石能源消耗，助力浙江省打造绿色低碳产业示范基地。
四、企业发展与未来展望
浙江普锐斯气体有限公司成立于 2025 年 5 月，注册资本 1000 万元，经营范围涵盖气体充装、销售及技术进出口。尽管公司成立时间较短，但其股东背景和技术团队尚未完全公开，市场对其研发实力和行业资源整合能力存在一定关注。此次备案的项目是公司首个大规模投资项目，若能顺利实施，将为其后续拓展电子特气市场奠定基础。
行业分析指出，电子特气行业具有较高的技术壁垒和客户认证门槛。国内企业需在纯度控制、混配工艺、包装运输等环节持续突破，才能与国际巨头竞争。普锐斯气体未来需加强研发投入，例如与高校、科研机构合作开发新型电子特气产品，同时积极申请行业认证，加快客户导入速度。
总体而言，浙江普锐斯气体公司超纯电子绿色特气项目的备案，标志着国内电子特气领域又一重要产能的释放。随着项目的推进，有望在提升国产替代率、促进区域经济发展、践行绿色制造等方面发挥积极作用。
